美国出必杀！采购EUV梦碎 中芯猛招求生差1步

中芯国际。(图/中新社资料照)

大陆晶圆代工龙头中芯国际近年在美中科技战之下沦为第一线遭到冲击的陆企，先是先进制程所需的极紫外光(EUV)微影设备进口遭到美国政府阻断，甚至遭列美国贸易黑名单，导致与美企的业务往来遭到大幅限制，中芯也转为加强发展成熟制程，并关注在相关设备需求上。

据《集微网》报导，中芯资深副总裁彭进日前指出，在源源不断的订单需求下，受美国禁令影响，让半导体生产设备出口审批周期延长及设备交期本身也延长的影响，中芯扩产的进度依然没有满足客户的产能需求。彭进表示，今年中芯8吋晶圆产能扩产4.5万片，较原先预期少35%，12吋扩产1万片，比计划少了1万片，对中芯、客户和整机厂都带来了较大的影响，目前看来成熟制程扩产还需要3~6个月时间，2022年、2023年扩产水准会持续超过今年规模。

中芯今年3月宣布，与荷商艾司摩尔(ASML)签约的12亿美元(约334亿元新台币)深紫外光(DUV)微影设备订单，期限到今年底。ASML全球副总裁、中国区总裁沉波今年11月指出，对大陆出口曝光机维持开放态度，并在合乎法律框架下全力支持，除了EUV机台，其他产品都可以向大陆客户出货。ASML近年出货到大陆市场占全球销量3成，目前在大陆装机量接近1000台。

至于日前再度传出，连中芯成熟制程所需的DUV机台也将被美国政府禁止出口，但最终在美国商务部提出质疑，认为这也会伤害美企利益下暂时搁置，但随着当时订单期限只剩下5天，中芯能否顺利得到DUV机台也备受外界关注。若中芯国际无法取得DUV机台，于北京兴建用以28奈米制程、12吋晶圆厂，以及日前宣布在上海、深圳的110 亿美元扩产计划，预计2023年开出的产能将面临困境。

力积电董事长黄崇仁先前受访表示，确实有看到中芯客户寻找第二供应商，虽然大陆努力建立半导体自主供应链，但与美国抗衡难度相当高。

中芯目前的产能主要用来生产大陆市场所需的汽车电源管理芯片 (PMIC) 和微控制器 (MCU)，随着美国去年将中芯列为贸易黑名单，北京当局也推出政策，要求国内产商优先供应本土企业，这也导致芯片严重紧缺，甚至在2021年爆发芯片荒，最新市场评估指出，可能要等到2022年下半年开始有产能开出，才有机会舒缓这场危机。

DUV机台虽然主要拿来使用在成熟制程芯片，但包括台积电、三星电子，也能拿来生产10奈米以下制程芯片。其中，台积电在生产第一代7奈米制程(N7)，透过DUV的193nm浸润式ArF微影生产。但业界人士认为，使用DUV曝光机透过液体浸润多重曝光后虽能缩小线距，但要做到与EUV的13.5奈米波长等效，也就是达到台积电7奈米制程的良率与成本，恐怕还有一大段距离，但只要DUV机台也遭到美国政府阻断，恐掐死最后的希望。

综合陆媒报导，大陆半导体企业使用ASML的DUV相关设备的有超过千件，为了满足大陆本土庞大需求，先前报导也指出正从日本取得二手半导体生产设备，也让这块市场持续成长。

陆媒《AI财经社》也在今年稍早报导，资深业界人士提到，中芯面临的困难比想像的要大得多，“现在的情况是，美国设备的出口被卡得很死，国产设备顶上来还要时间，这给中芯国际带来了不确定性”。

但就中芯联合首席执行长梁孟松曾透露，中芯28奈米、14奈米、12奈米以及N+1制程都进入规模量产，开发中的7奈米制程也已经完成，预计2022年就可以投入风险量产，是否仍有机会取得设备来供应芯片，将成外界关注焦点。